真空箱式氦检漏系统
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机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,保证了良好的本底和ji少的藏气,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元,氦质谱检漏仪采用进口产品,自动校准漏孔。技术成熟,性能稳定,安装维护方便,使其和真空箱连接更加协调紧密。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有 危险,另- -方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产:大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。
检漏设备在检测时需要留意的事项
检漏设备来讲,咱们其实也便是要留意,这个方面来讲,其实也便是能够快速的找出它的走漏点,其本钱来讲其实也便是会比较高,咱们的检漏设备其实也便是能够合适批量化作业;这个方面来讲的话,咱们其实也便是要留意,关于其检漏设备应该在无风状态下进行运用。类型1:射束泄漏在使用示踪气体检漏时,有时可能只能定位极狭窄区域。
再者,咱们其实也便是要留意,关于检漏设备检测气密性的时分,首要来讲,其实也便是要留意制止呈现揉捏的现象,简略来讲,其实也便是要直接的制止其践踏仪器或者是直接的坐在仪器上,或者是在咱们的仪器上直接的摆放其他物品。